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半導體廢氣處理方案

作者: 編輯: 來源: 發布日期: 2022.08.05
信息摘要:
半導體行業中使用的清洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等溶劑中含有大量有機物成分。 在工藝過程中,這些有機溶劑大部分通過揮發成為廢氣排放。
———————————————◆半導體廢氣處理 廢氣分析◆ —————————————
>>半導體 廢氣成分
 半導體煙氣中主要含有粉塵、二氧化硫、氟化物等。

 (1)二氧化硫和硫化氫對生命有害,二氧化硫比空氣重2.26倍,是無色臭味具有窒息性氣體。資料介紹,長期接觸濃度為5.23±0.52mg/m3的SO2后,人體會患類支氣管肺炎、肝細胞濁腫、眼角膜炎病變。

 (2)氟化物指含負價氟的有機或無機化合物。與其他鹵素類似,氟生成單負陰離子(氟離子F?)。氟可與除He、Ne和Ar外的所有元素形成二元化合物。從致命毒素沙林到藥品依法韋侖,從難熔的氟化鈣到反應性很強的四氟化硫都屬于氟化物的范疇。

 

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 ——————————————半導體廢氣處理 效果標準◆ ——————————————

>>設計原則

(1)協助企業采用科學合理的收集方式,在達到收集效果的前提下,盡量減少氣量。
(2)積極穩妥地采用新技術、新設備,結合企業的現狀和管理水平采用先進、可靠的污染治理工藝,力求運行穩定、費用低、管理方便、維護容易,從而達到徹底消除廢氣污染、保護環境的目的。(2015-01-01)
(3)妥善解決項目建設及運行過程中產生的污染物,避免二次污染。
(4)嚴格執行現行的防火、安全、衛生、環境保護等國家和地方頒布的規范、法規與標準。
(5)選擇新型、高效、低噪設備、注意節能降耗。
(6)總平面布置力求緊湊、合理通暢、簡潔實用。盡量減小工程占地和施工難度。
(7)嚴格執行國家有關設計規范、標準,重視消防、安全工作。(GB16297-1996)
(8)依據國家和地方有關環保法律、法規及產業政策要求對工業污染進行治理,充分發揮建設項目的社會效益、環境效益和經濟效益。
 

>>工程范圍及標準

1、工程范圍  
  本項煙氣系統的設計范圍為:一整套脫硫系統、一整套除塵系統。
2、技術要求
(1)本工程不考慮征地,利用原廠用地,不能嚴重影響生產;
(2)采用成熟的廢氣處理工藝,要求技術安全可靠、經濟合理;
(3)副產品的處理,不應產生二次污染;
(4)所有的設備和材料是新的;
(5)觀察、監視、維修簡單;
(6)確保人員和設備安全;
(7)節省能源、水和原材料;
(8)排放標準,執行以下排放要求:二氧化硫濃度<200mg/m3 ,氟化物濃度<200mg/m3,粉塵濃度<50mg/m3并具有可滿足更高標準的調節裕量。
 

>>排放標準

 最終出風口廢氣執行超低排放標準,執行如下表:
鍋爐廢氣處理
 
—————————————半導體廢氣處理 方案定制依據◆ ————————————— 
(1)《環境空氣質量標準》(GB3095-1996)
(2)《大氣污染物綜合排放標準》(GB16297-1996)
(3)《鍋爐大氣污染物排放標準》(GB13271-2014)
(4)《工業企業廠界噪聲標準》(GB12348-90)
(5)《工業鍋爐及窯爐濕法煙氣脫硫工程技術規范》(HJ462-2009)
(6)《設備的安全通用部分》(GB59591-86)
(7)《設備的電力裝置設計規范》(GB5056-93)
(8)《設備的基本技術條件》(GB100671-88)
(9)《焊接件通用技術條件》(JB/ZQ4000 3-86)
(10)《大氣環境質量標準》(GB3085-82)
(11)《工業企業設計衛生準則》(TJ36-92)
(12)《鋼鐵工業廢氣粉塵排放標準》(GB9078-1996)
(13)《除塵機組技術性能及測試方法》(GBJ1653-89)
(14)《工業“三廢”排放試行標準》(GBJ4-83)
(15)《設備及管道保溫技術通則》(GB4272-92)
(16)業主提供的與本項目有關的資料
(17)江蘇耀先環境設備有限公司治理類似項目廢氣工程取得的經驗 
 
———————————————半導體廢氣處理 系統設計◆ ——————————————
 
  擬處理的鍋爐廢氣考慮運營成本及安全性,本方案工藝路線擬采用以“通風系統(風機、收集罩、管道)+ 核心凈化系統(雙堿脫硫塔+濕式靜電除塵器 ”為核心工藝來處理該廢氣。
半導體廢氣處理
通風系統(風機、收集罩、管道)+核心凈化系統(雙堿脫硫塔+濕式靜電除塵器)+風機+煙囪

>>流程簡介

  (1)煙氣中含有粉塵、氟化物、二氧化硫,煙氣進入脫硫塔,雙堿法煙氣脫硫技術是利用氫氧化鈉或碳酸鈉溶液作為啟動脫硫劑,配制好的氫氧化鈉或碳酸鈉溶液直接打入脫硫塔洗滌脫除煙氣中SO2來達到煙氣脫硫的目的,然后脫硫產物經脫硫劑再生池再生成亞硫酸鈉或氫氧化鈉再打回脫硫塔內循環使用。煙氣中的氟化物溶于水,生成氫氟酸和水,氫氟酸和氫氧化鈣反應生成氟化鈣沉淀和水。
  (2)煙氣經過脫硫塔時,噴淋系統同時能捕捉煙氣中的粉塵顆粒物,未被捕捉的粉塵進入濕式靜電設備中,濕電除塵器的原理是陽極和陰極線之間施加數萬伏直流高壓電,在強電場的作用下,電暈線周圍產生電暈層,電暈層中的空氣發生雪崩式電離,從而產生大量的負離子和少量的正離子,這個過程叫電暈放電;隨煙氣進入濕式電除塵裝置內的塵(霧)粒子與這些正、負離子相碰撞而荷電,荷電后的塵(霧)粒子由于受到高壓靜電場庫侖力的作用,向陽極運動;到達陽極后,將其所帶的電荷釋放掉,塵(霧)粒子就被陽極所收集,收集粉塵形成水膜,靠重力或沖洗自上流至下部積液槽或者吸收塔,而與煙氣分離。達標后的煙氣經風機管道煙囪排放。
 
———————————————半導體廢氣處理 相關案例◆ ——————————————

鍋爐廢氣處理

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